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產(chǎn)品中心
起初潔凈工程潔凈標(biāo)準(zhǔn)是由美國(guó)制定的,應(yīng)用廣泛,單位為英制。每立方英尺空氣中≥0.5μm塵粒的最大允許粒子數(shù)。另一種為國(guó)際單位,表示時(shí)為每立方米空氣中≥0.5μm塵粒的最大允許粒子數(shù)的常用對(duì)數(shù)值。現(xiàn)代工業(yè)潔凈室雖然仍以懸浮顆粒物為主要控制對(duì)象,但在某些工藝過(guò)程中對(duì)空氣中分子態(tài)污染物(AMC)也提出了控制要求。因此,空氣凈化技術(shù)的關(guān)鍵設(shè)備也從單一的粒過(guò)濾器發(fā)展到可以吸附有害氣態(tài)物質(zhì)的化學(xué)過(guò)濾器器。
微電子行業(yè)是現(xiàn)代工業(yè)潔凈室應(yīng)用的代表。主要產(chǎn)品是大規(guī)模集成電路和平板顯示器。半個(gè)多世紀(jì)以來(lái),集成電路得到迅猛發(fā)展,隨著集成度的增加,元件中的線寬不斷縮小,因此對(duì)空氣懸浮顆粒物的控制粒徑也越來(lái)越小,一般認(rèn)為控制粒徑應(yīng)當(dāng)是線寬的1/10~1/3,但由于線寬越來(lái)越小,這一要求也難以達(dá)到了。微電子產(chǎn)品的迅速發(fā)展對(duì)傳統(tǒng)的潔凈技術(shù)提出了極大的挑戰(zhàn),同時(shí)也促進(jìn)了現(xiàn)代潔凈技術(shù)的發(fā)展。 工業(yè)潔凈室以空氣中的懸浮顆粒物為主要控制對(duì)象,主要為精密機(jī)械和電子產(chǎn)品等行業(yè)提供符合要求的生產(chǎn)環(huán)境。六十年代初是中國(guó)潔凈技術(shù)發(fā)展的起步階段,大致比國(guó)外晚了十年。在中國(guó),那是一個(gè)非常特殊的困難年代,一方面剛度過(guò)三年自然災(zāi)害,經(jīng)濟(jì)基礎(chǔ)薄弱,另一方面與世界科技先進(jìn)國(guó)家沒(méi)有直接交往,得不到必要的科技數(shù)據(jù)、信息和樣品。在這種艱難條件下,圍繞精密機(jī)械、航空儀表和電子工業(yè)的需要,中國(guó)的潔凈技術(shù)工作者開(kāi)始了自己的創(chuàng)業(yè)歷程。
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